在電子顯微鏡的寬泛應用領域中，電氣設備的應用力度相對較大，尤其是電氣故障的定位和分析，如果沒有值得信賴的電鏡工具提供強大功能，定位的準確度便會受到不同程度的影響，因此對光子發射顯微鏡在這方面的性能優勢，還是有必要充分發揮從而產生事半功倍的作用。針對具體的故障類型，靈活調整電鏡工具的應用策略，無形之中改善了應用效果，越來越多成功案例的涌現，則將電子顯微鏡強勁的技術實力展露無疑。
不可否認，電氣故障的定位難度是相對較大的，關鍵是僅憑常規的方式方法難免會效果欠佳，反觀
光子發射顯微鏡不僅簡化了繁瑣的中間環節，而且對定位結果的精確度也會切實保障。既然如今可選擇的電鏡工具類型眾多，面對無處不在的嚴峻挑戰，自然有必要充分發揮電鏡工具性能優勢，從而為妥善解決電氣故障定位難題創造便利條件。
當然，工業界對電鏡工具的應用也是極為普遍的，不同類型的樣品材料，在進行高度局部表征的新挑戰時，依托
聚焦離子束掃描電子顯微鏡強大的功能，迎刃而解的可能性便會大增。雖然電鏡工具的功能強大實用，但如果不能提高與應用場景和行業領域的匹配度，自然也就難以創造實質性的價值，這也是越來越多電氣故障能夠成功定位的原因所在。
由此作為參考可以發現，針對學術界和工業界的樣品分析，僅憑常規方式往往無法獲得精確的數據信息，反倒是聚焦離子束掃描電子顯微鏡的強大功能，足以為分析結果的精確度提供全方位的支撐和保障。既然已經對電鏡工具產生了較強依賴性，作為妥善解決各類分析難題也就無可厚非，對于分析結果的保障力度想必也會相應加大。
